Sylabus
Posluchač se během tohoto semináře seznámí se základy sondových, optických a korpuskulárních metod diagnostiky plazmatu, a to hlavně s ohledem na určování základních vlastností plazmatu během depozice a úpravy povrchů. Pozornost bude věnována zejména: 1) Určování koncentrací nabitých částic pomocí hmotnostní spektrometrie a sondových měření 2) Určování koncentrací neutrálních částic pomocí optických a korpuskulárních diagnostick ých metod 3) Určování energetického rozdělení částic ve výbojovém plazmatu
Anotace
V tomto semináři bude podán na konkrétních příkladech přehled diagnostických metod používaných pro určování základních parametrů plazmatu během depozice a úpravy povrchů.