Sylabus
Základní rozdělení depozičních aparatur.
Konstrukční prvky a materiály pro vakuové aparatury.
Čerpací systémy - druhy primárních a sekundárních vývěv.
Měření tlaku, měrky pro HV a UHV.
Řízení přívodu pracovních plynů a kapalin.
Aparatury pro depozice za atmosférického tlaku.
Návrh a stavba depoziční aparatury.
Anotace
Vakuová technika a její použití při konstrukci depozičních aparatur.