Sylabus
1) Vymezení pojmů tenká vrstva, nízkoteplotní plazma, vakuum.
2) Úvod do problematiky vakuové depozice tenkých vrstev - napařování, magnetronové naprašování, reaktivní magnetronové naprašování, plazmová polymerace.
3) Měření optických vlastností a tlouštěk tenkých vrstev - spektroskopická elipsometrie
4) Metody chemické analýzy povrchů - XPS, FTIR, EDX
5) Zkoumání morfologie povrchů - AFM, SEM
6) Měření mechanických vlastností pomocí nonoindentace
7) Měření smáčivosti a povrchové energie
Anotace
V rámci předmětu se studenti seznámí se základy přípravy tenkých vrstev s využitím nízkoteplotního plazmatu a s jejich charakterizací. Po teoretickém úvodu do problematiky bude výuka probíhat přímo v laboratořích KMF, kde se studenti seznámí s prací na automatizované depoziční aparatuře umožňující přípravu tenkých vrstev kovů, oxidů kovů a plazmových polymerů.
Předmět má experimentální charakter.