Sylabus
1) Úvod do vakuové technologie a jejího využití pro přípravu tenkých vrstev.
2) Seznámení se s pojmy napařování, magnetronové naprašování, plazmová polymerace.
3) Příprava anorganických a organických tenkých vrstev a nanočástic pomocí plynového agregačního zdroje.
4) Měření tlouštěk a optických vlastností tenkých vrstev pomocí spektroskopické elipsometrie
5) Zkoumání morfologie povrchů pomocí AFM a SEM
Anotace
Studenti se po teoretickém úvodu seznámí během práce v laboratoři s obsluhou automatizované vakuové depoziční aparatury. Naučí se samostatně připravovat a charakterizovat tenké organické či anorganické vrstvy a nanočástice a seznámí se se základními metodami jejich charakterizace z hlediska fyzikálně-chemických vlastností.
Značná pozornost bude věnována zejména různým metodám měření tloušťky (in-situ i ex-situ) a optických vlastností připravovaných materiálů. Předmět je zaměřen na získání praktických dovedností při práci v laboratoři tenkých vrstev.