Charles Explorer logo
🇬🇧

Technology of vacuum based fabrication of thin films and nanostructures

Class at Faculty of Mathematics and Physics |
NBCM238

This text is not available in the current language. Showing version "cs".Syllabus

1) Úvod do vakuové technologie a jejího využití pro přípravu tenkých vrstev.

2) Seznámení se s pojmy napařování, magnetronové naprašování, plazmová polymerace.

3) Příprava anorganických a organických tenkých vrstev a nanočástic pomocí plynového agregačního zdroje.

4) Měření tlouštěk a optických vlastností tenkých vrstev pomocí spektroskopické elipsometrie

5) Zkoumání morfologie povrchů pomocí AFM a SEM

This text is not available in the current language. Showing version "cs".Annotation

Studenti se po teoretickém úvodu seznámí během práce v laboratoři s obsluhou automatizované vakuové depoziční aparatury. Naučí se samostatně připravovat a charakterizovat tenké organické či anorganické vrstvy a nanočástice a seznámí se se základními metodami jejich charakterizace z hlediska fyzikálně-chemických vlastností.

Značná pozornost bude věnována zejména různým metodám měření tloušťky (in-situ i ex-situ) a optických vlastností připravovaných materiálů. Předmět je zaměřen na získání praktických dovedností při práci v laboratoři tenkých vrstev.