Vybrané partie z fyziky tenkých vrstev

Sylabus

* 1. Homoepitaxe

Vliv rekonstrukce na epitaxní růst. Step-flow růst a vliv kinetiky na výslednou drsnost. Magické ostrůvky - homoepitaxe polovodičů, kovů.

* 2. Heteroepitaxe polovodičů a kovů na polovodičích

Vliv pnutí. Dislokace. Vytváření heterostruktur - SK růst, kvantové tečky, dráty a supermřížky, příklady systémů, PL laser, magnetické multivrstvy. Růst GaAs, Si/Ge heteroepitaxe, Kovy na polovodičích - smíšené rekonstrukce.

* 3. Heteroepitaxe kovů na kovech a oxidech

Obecné problémy epitaxe a depozice kovů, kovové slitiny, uspořádané slitiny, aktivní getry. Aktivní orientované částice kovů a jejich využití v heterogenní katalýze. Senzory plynů. Měření fyzikálně chemických vlastností heteroepitaxních systémů povrchově citlivými metodami, určení struktury a morfologie.

Anotace

Přednáška se věnuje speciálním aspektům homoepitaxního a heteroepitaxního růstu tenkých vrstev. Homoepitaxe - orientovaný růst, růst na singulárních a vicinálních površích, vliv rekonstrukce na homoepitaxní růst, přechod mezi 2D a 3D růstem.

Heteroepitaxe - růst heteroepitaxních vrstev, jejich fyzikálně chemické vlastnosti a metody jejich zkoumání. Hlavní pozornost je věnována systémům kov-kov a kov-oxid.

Vliv pnutí a povrchové rekonstrukce na morfologii vrstev (příklady pro systémy kov-polovodič, polovodič-polovodič), samoorganizace.