Fyzika tenkých vrstev

Sylabus

*

1. Základní procesy při depozici Adsorpce. Pohyb atomu v periodickém potenciálu -povrchová difůze. Interakce adatomů a klastrů. Vliv schodů, poruch a příměsí. *

2. Teorie nukleace a růstu tenkých vrstev Mody a fáze růstu TV. Rovnovážná teorie nukleace. Atomistická teorie. Kinetické rovnice růstu. Simulace růstu TV. Kinetika versus termodynamika. *

3. Vliv parametrů na strukturu TV Amorfní, polykrystalické a epitaxní vrstvy. Vliv pnutí při heteroepitaxi - Stranski-Krastanov růst. Vliv kinetiky (2Dx3D růst, kritický poloměr, role schodů, Ehrlich-Schvoebelova bariéra, step-flow mód). *

4. Vlastnosti TV Elektrické vlastnosti. Mechanické vlastnosti. Magnetické a optické vlastnosti. Aplikace tenkých vrstev. *

5. Nanostruktury Fyzikální vlastnosti nízkodimenzionálních objektů. Příprava nanostruktur. Využití samoorganizujících procesů při růstu nanostruktur.

Anotace

Interakce a migrace atomů na povrchu. Mody a fáze růstu tenkých vrstev (TV).

Rovnovážná teorie nukleace TV. Kinetika versus termodynamika.

Kinetické rovnice růstu TV. Vliv kinetiky na růst.

Počítačové simulace růstu. Růst na atomárních terasách.

Epitaxní růst. Vlastnosti tenkovrstvových struktur - elektrické, magnetické, optické a mechanické.

Využití tenkých vrstev - příklady. Nízkodimenzionální struktury.