Nízkoteplotní plazma a jeho aplikace

Sylabus

* 1. Kinetický popis nízkoteplotního plazmatu

Řešení kinetické rovnice - Fockerův-Planckův srážkový člen. Vliv pružných a nepružných srážek na rozdělovací funkci elektronů. Vliv srážek elektron - elektron na rozdělovací funkci. Maxwellovo rozdělení, nemaxwellovská rozdělení. Vliv magnetického pole. Kinetický popis nízkoteplotního plazmatu ve vícesložkových systémech, srážková frekvence.

* 2. Výbojové nízkoteplotní plazma a jeho aplikace v technologiích

Plazma ve výbojích generovaných stejnosměrným a střídavým polem. Vlivy difúze, rekombinace, beta a gama procesů na tyto výboje. Příelektrodové oblasti. Vliv chemicky aktivních prostředí na procesy v plazmatu (elektronegativní plyny, kataforéza). Interakce iontů a neutrálních atomů s povrchy. Katodové naprašování (závislost na energii, materiálu a podmínkách na povrchu). Metody vytváření tenkých vrstev různých vlastností. Plazmatická polymerace a leptání, sterilizace. Modelování v plazmochemii.

Anotace

Kinetický popis plazmatu. Vlivy různých typů srážek na rozdělovací funkci elektronů.

Nízkoteplotní plazma ve výboji. Vlivy různých procesů a složení.

Plazmatické opracování povrchů a vytváření vrstev. Určeno pro doktorandské studium.

Vyučováno v lichých kalendářních rocích.