Měřicí metody polovodičů

Sylabus

*

1. Měření impedance. Základy měření impedance, vliv parazitních hodnot - skutečná, efektivní a indikovaná hodnota, přehled měřicích metod, princip mostu s automatickým vyrovnáním, způsoby připojení vzorku, eliminace parazitních hodnot, kalibrace a kompenzace, příklady měření a přístrojů. *

2. Měření malých napětí, malých proudů a velkých odporů. Charakteristika elektrometru, pikoampermetru a nanovoltmetru, přesnost měření, charakteristika izolačních materiálů, vliv jejich parazitních efektů, význam stínění a guardování, princip triaxového připojení, šum a drift. *

3. Měření transportních jevů. Problematika kontaktů, obecné podmínky měření, metody měření koncentrace nositelů proudu, elektrické vodivosti, Hallovy konstanty, termoelektrické síly, tepelné vodivosti. *

4. Měření základních parametrů nerovnovážných nositelů proudu. Měření doby života, měření difúzní délky, měření povrchové rekombinace. *

5. Stanovení základních parametrů parametrů poruch v polovodičích. Vymezení pojmů, přehled měřicích metod, jejich srovnání, specifika kapacitních metod, přednosti a příklady použití. *

6. Problematika šumu. Typy šumu, zdroje, matematický popis, metody měření šumu.

Anotace

Příprava vzorků, povrchů a kontaktů, metody měření elektrické vodivosti a dalších transportních jevů. Základní parametry nerovnovážných nositelů proudu, doba života, difúzní délka, stanovení základních parametrů poruch v polovodičích, kapacitní metody, fotoelektrické a optické metody.