Publikace na Matematicko-fyzikální fakulta |
2010
Abstrakt
Flourouhlíkové plazmové polymery byly připraveny RF magnetronovým naprašováním v argonu s pomocí balancovaného magnetronu osazeného polytetrafluoroethylenovým terčem. Hlavním cílem této práce je určení vlivu tlaku a vzdálenosti mezi substrátem a rozprašovaným terčem na výsledné vlastnosti deponovaných vrstev.