Nedestruktivní hloubkové profilování aktivovaného getru Ti-Zr-V pomocí energeticky rozlišené fotoelektronové spektroskopie (ERXPS)

Abstrakt

Nevypařovatelné ternární getry (NEGy) Ti-Zr-V byly studovány pomocí energeticky rozlišené fotoelektronové spektroskopie. Pokusili jsme se o kvantitativní studii hloubkového přerozdělení složek NEGu během aktivace.

Vzorky byly připravovány ex-situ stejnosměrným magnetronovým naprašováním na substrát z nerezové oceli. Měření ERXPS probíhala za různých energií.

Kromě jich jsme použili i standardní fotoelektronovou spektroskopii XPS. Shromáždili jsme intenzity fotoelektronových píků Ti, V, Zr, C a O jakožto funkce kinetických energií, které jim byly uděleny.

Za zjednodušujících předpokladů jsme metodou Monte-Carlo počítali koncentrační profily aktivovaných vzorků, abychom fitovali naměřené intenzity spekter. Výsledky prokázaly hloubkové přerozdělení složek během aktivačního procesu.

Touto prací jsme též přispěli k vývoji nedestruktivního hloubkového profilování metodami elektronové spektroskopie.

Klíčová slova

• NEG
• Ti-Zr-V
• kvantitativní analýza
• rozptyl elektronů
• ERXPS