Polymerní vrstvy

Abstrakt

Různé postupy přípravy polymerních povlaků s pomocí plazmatu jsou stručně představeny a diskutovány. Hlavní pozornost je věnována procesu plazmové polymerizace, tepelné degradaci polymerů a RF magnetronovému rozprašování polymerních terčů.

Klíčová slova

• plazmová polymerizace
• RF naprašování
• vypařování
• metalizace polymer