Metoda pro určování difúzní délky minoritních nosičů proudu v křemíkových destičkách měřením povrchového fotonapětí
Abstrakt
Americká norma SEMI MF 391-07-08 z r.2008 je vhodná pouze pro křemíkové destičky s tloušťkou alespoň čtyřikrát větší, než difúzní délka minoritních nosičů proudu. Podle normy ČSN 36 4639 lze měřit vzorky libovolné tloušťky.
Metoda pracuje s optickým zářením o nízké intenzitě a využívá rozdílný průnik záření jednotlivých vlnových délek do polovodiče.