Studium parametrů plazmatu v plazmové trysce s dutou katodou v pulzním režimu

Abstrakt

Nízkoteplotní plazma pulzního výboje v duté katodě pro naprašování bylo studováno pomocí Langmuirovy sondy.

Klíčová slova

• dutá katoda
• plasma jet
• pulzní režim
• Langmuirova sonda