Modelování nanášení nečistot do mezer zoubkovaných povrchů pomocí kódu 3D-GAPS

Abstrakt

Je popsán kód 3D-GAPS pro modelování transportu neutrálních částic. Kód modeluje transport nečistot a nánosů v odlehlých oblastech jako mezery ve struktuře zoubkovaných povrchů přilehlých k plazmatu.

Klíčová slova

• modelování
• transport nečistot
• mezery