Efekt dopování dusíkem na tvorbu tenkých vrstev TiOxNy při reaktivním vysokovýkonovém impulsním magnetronovém naprašování
2010
Abstrakt
Článek je zaměřen na studium tvorby tenkých vrstev TiOxNy připravovaných pomocí impulsního magneronového naprašování kovového titanového terče.