: Iontový proud na substrát v depozičním systému s impulsní stejnosměrně buzenou plazmovou tryskou s dutou katodou

Abstrakt

Byl studován proud kladných iontů na substrát v depozičním systému s impulsní stejnosměrně buzenou plazmovou tryskou s dutou katodou pracujícím za nízkého tlaku.

Klíčová slova

• kladný iontový proud
• plazmová tryska s dutou katodou