Studium nízkotlakého výboje v plazmové trysce s dutou katodou v impulsním režimu

Abstrakt

Jsou prezentovány výsledky měření provedené v nízkotlakém plazmatu naprašovacího systému s plazmovou tryskou v impulsním režimu buzení plazmatu.

Klíčová slova

• plazmová tryska s dutou katodou
• pulzní režim
• Langmuirova sonda