Strukturované nanokompozitní vrstvy Ti/plasmový uhlovodíkový polymer, připravené směrovou depozicí pod úhlem magnetronovým naprašováním

Abstrakt

Strukturované nanokompozitní vrstvy Ti/uhlovodíkový plazmový polymer jsou deponovány pomocí směrové depozice pod úhlem magnetronovým naprašováním titanu ve směsi Ar/hexan nebo postupnou depozicí titanu a následně polypropylenu. Povrchová chemie těchto vrstev je řízena složením pracovního plynu.

Struktura substrátu může změnit morfologii organických vrstev deponovaných pod úhlem z kontinuálních na nanostrukturované tenké vrstvy.

Klíčová slova

• směrová depozice pod úhlem
• nanokompozity
• nanostruktury
• plazmová polymerizace
• naprašování