Publikace na Matematicko-fyzikální fakulta |
2010
Abstrakt
Tento článek představuje přehled depozice tenkých vrstev plazmových polymerů a klastrů pomocí různých metod, včetně nízkotlakového doutnavého vyboje. Jsou shrnuty základní pojmy depozice plazmových polymerů a struktur založených na klastrech.
Jsou diskutovány hlavní teoretické modely, hlavní experimentální uspořádání a je uvedeno několik aplikací plazmových polymerů a nanoklastrů.