V referátu přinášíme shrnutí některých našich výsledků z oblasti studia růstu atomárních struktur kombinací experimentálního a teoretického přístupu. Řádkovací tunelová mikroskopie (STM) nám poskytuje atomárně rozlišenou informaci v reálném prostoru, která umožňuje navržení modelu růstu, jenž je dále rozvíjen pomocí kinetických Monte Carlo (KMC) simulací.