Způsob a zařízení pro přípravu vrstev nitridu boritého v křemenných ampulí

Abstrakt

Vynález se týká způsobu a zařízení pro přípravu ochranných vrstev nitridu boritého v křemenných ampulích, zvláště pro výzkum, vývoj a přípravu materiálů a polotovarů pro výrobu elektronických a optoelektronických součástek.

Klíčová slova

• Způsob
• zařízení
• přípravu
• vrstev
• nitridu
• boritého
• křemenných
• ampulí