Optimalizace podmínek anodického leptání krystalického křemíku pro přípravu luminiscentních křemíkových nanokrystalů pro chemosenzorové aplikace
Abstrakt
Je prezentováno anodické leptání krystalického křemíku v elektrolytu na bázi fluoridů a optimalizace podmínek leptání s cílem vyrobit porézní křemík pro aplikace v plynových chemosenzorech. Hlavním cílem studie bylo připravit mechanicky stabilní materiál obsahující luminiscenční křemíkové nanokrystaly.
Hlavními optimalizačními parametry byly hustota anodického proudu, složení leptacího elektrolytu a vlastnosti křemíkových destiček (typ dopování, rezistivita, krystalografická orientace). Optimalizované výrobní parametry byly stanoveny na základě gravimetrie, lineární voltametrie křemíkových destiček v elektrolytech na bázi fluoridů a charakterizačních technik, jako je infračervená a fotoluminiscenční spektroskopie a skenovací elektronová mikroskopie.