Rtg difrakční studium krystalizace a napětí ve vrstvách TiO2

Abstrakt

Komplexní rtg studium tenkých vrstev TiO2 na křemíkových substrátech s různou tloušťkou (50-2000 nm) - rtg refleektivita, napětí, textury, velikost krystalitů. Krystalizační proces byl studován in-situ ve VT komoře na rtg difraktometru.

Klíčová slova

• study
• thickness
• dependence
• crystallization
• stresses
• films