Počítačové studium interakce plazmatu s povrchy při plazmatických technologiích.

Abstrakt

Počítačovým experimentem byl studován vliv nerovnosti substrátů vnořených do plazmatu při plazmatickém zpracování materiálů. Tato analýza byla založena na kombinaci spojitého a částicového modelování.

Hlavní pozornost byla věnována vlivu makroskopické i mikroskopické geometrie substrátů na lokální elektrická pole v plazmatu

Klíčová slova

• Computational
• study
• plasma-surface
• interaction
• plasma-assisted
• technologies