Charles Explorer logo
🇨🇿

Tenké vrstvy Sn-CeO2 připravené rf magnetronovým naprašováním: studium metodami XPS a SIMS

Publikace na Matematicko-fyzikální fakulta |
2009

Abstrakt

Účelem tohoto výzkumu bylo přispět k objasnění mechanismu interakce mezi Sn a Ce ve směsných oxidech připravených metodou současného naprašovaní cínu a ceru. Tenké vrstvy CeO2 a Sn-CeO2 byly připraveny nereaktivním vysokofrekvenčním magnetronovým naprašováním na substráty Si (100).

Připravené vzorky byly zkoumány pomocí metod hmotnostní spektroskopie sekundárních iontů (SIMS) a rentgenové fotoelektronové spektroskopie(XPS) s využitím běžného laboratorního zdroje záření.