Rtg.difrakce polykrystalických tenkých vrstvev v koplanárním uspořádáním s nízkým úhlem odrazu

Abstrakt

Metoda koplanární rtg difrakce s malým úhlem výstupu byla testována na laboratorním difraktometru a tenkých polykrystalických vrstvách TiO2. Polohy píků, šířky a intenzity byly modelovány s uvážením efektů lomu, rozptylu v multivrstevném vzorku, absorbce a instrumentálních efektů geometire s malým úhlem výstupu (grazing exit geometry).

Byl vytvořen model absorbcí indukovaného rozšíření v blízkosti kritického úhlu odrazu. Měřená data byla úspěšně fitována na sérii vzorků s různou tloušťkou.

Je ukázáno, že tato technika je vhodná pro analýzu tenkých vrstev, zvláště díky flexibilnímu prostorovému a úhlovému rozlišení.

Klíčová slova

• Coplanar
• grazing
• X-ray
• diffraction
• polycrystalline
• films