Dynamika interakce plazma-povrch v chemicky aktivním plazmatu

Abstrakt

Byla modelována interakce mezi nízkoteplotním multikomponentním plazmatem a vnořenými kovovými substráty. Použité metody byly makroskopický kinetický přístup a PIC-MCC částicová simulační technika

Klíčová slova

• Dynamics
• plasma-surface
• interactions
• chemically
• active
• plasmas