Krystalinita tenké křemíkové vrstvy se smíšenými fázemi Ramanovou spektroskopií

Abstrakt

Krystalinita tenké křemíkové vrstvy se smíšenými fázemi Ramanovou spektroskopií

Klíčová slova

• Crystallinity
• mixed
• phase
• silicon
• films
• Raman
• spectroscopy