Vf magnetronové naprašování cínu v pracovní plynné směsi Ar/n-hexan

Abstrakt

Kompozitní vrstvy cínu a uhlovodíkoého plazmového polymere byly připraveny vf naprašováním cínu v pracovní plynné směsi Ar a n-hexanu. Velikost zrn ovlivňuje elektrické vlastnosti vrstev.

Klíčová slova

• Magnetron
• Sputtering
• Ar/n-hexane
• Working
• Mixture