Závislost fyzikálních vlastností homogenních vrstev TiO2 připravených pomocí výkonového magnetronového naprašování na krystalické fázi a nanostruktuře

Abstrakt

Jsou studovány optické, foto-elektrochemické, krystalografické a morfologické vlastnosti tenkých vrstev TiO2, připravených v pulzním výkonovém magnetronu při nízkých teplotách substrátu ({65 C) bez následného žíhání

Klíčová slova

• Physical
• properties
• homogeneous
• films
• prepared
• power
• impulse
• magnetron
• sputtering
• function
• crystallographic
• phase
• nanostructure
• 105204