Počítačové studium vlivu složení plazmatu na vytváření stínící vrstvy

Abstrakt

Nízkoteplotní plazma elektronegativních plynů, užívané v plazmatických technologiích, přináší nové druhy nabitých částic a nové interakce těchto částic s neutrálním pozadím. Tyto procesy v plazmatu směsi kyslík-argon byly studovány částicovým modelováním

Klíčová slova

• Computational
• study
• plasma
• composition
• influence
• sheath
• formation