Publikace na Matematicko-fyzikální fakulta |
2009
Abstrakt
Vrstvy TiO2 vykazují řadu pozoruhodných vlastností např. fotokatalytickou aktivitu a hydrofilicitu. Tyto vlastnsoti však závisejí podstatně na krystalinitě, fázovém složení a mikrostruktuře vrstev.
Pomocí in-situ rtg studia izochronního a izotermického žíhání byla studována krystalizace amorfních vrstev s různou tloušťkou (50-2000 nm) nanesených na křemíkových substrátech. Měření byla srovnána s žíhaním amorfních a nanokrystalických vrstev.
Krystalizace závisí výrazně na tlouš´tce vrstev zejména pod cca 500 nm pro velmi tenké vrstvy je pomalá. Proces může být dobře popsán Avramiho rovnicí modifikovanou zavedením počátečního času krystalizace.
Její parametry závisí také výrazně na tloušťce vrstev.