Au a Au3 ionty v tenkých vrstvách CeO2 připravených rf magnetronovým naprašováním

Abstrakt

Interakce zlata s vrstvami CeO2 byla zkoumána pomocí fotoelektronové spektroskopie. Vrstvy CeO2 s tloušťkou 65 nm dopované atomy Au byly připraveny vysokofrekvenčním magnetronovým naprašováním na Si(001) substráty použitím složeného terče CeO2-Au.

Tloušťka vrstev a morfologie byly určeny pomocí skenovací elektronové mikroskopie (SEM). Laboratorní XPS a fotoelektronová spektroskopie s využitím synchrotronového záření v oblastech měkkého (Soft- X) a tvrdého (Hard-X) rentgenového záření byly použity pro charakterizaci vlastností a chemického složení vrstev.

Klíčová slova

• rf-sputtered
• films
• 115301