Zbytkové napětí a elastická anizotropie v nanokompozitech Ti-Al-(Si-)N a Cr-Al-(Si-)N nanokompozitech deponovaných katodovým obloukovým vypařováním

Abstrakt

Elastická anizotropie nanokompozitních vrstev Cr-Al-(Si-)N and Ti-Al-(Si-)N s různým obsahem Al a Si byla studována komplementárním rtg metodami. Metoda malého úhlu dopadu (GAXRD) byla použita k získání první informace o anizotropii elastických konstant.

Měření na rtg difraktometru s Eulerovou kolébkou bylo použito pro výpočet mřížových deformací a zbytkových napětí pomocí metody skupin krystalitů. Ve většině vzorků klesal stupeň elastické anizotropie s obsahem Al a Si.

Klíčová slova

• Residual
• stress
• elastic
• anisotropy
• Ti-Al-
• Cr-Al-
• nanocomposites
• deposited
• cathodic
• evaporation