Pro studium polovodičových nanostruktur se často používají metody rtg rozptylu. Z rozložení difúzně rozptýlené intenzity v reciprokém prostoru je možné určit korelační vlastnosti poloh nanočástic, jejich tvar, elastickou deformaci v objemu nanočástic a v jejich okolí, jakož i lokální chemické složení nanočástic.
V této kapitole shrneme základní teoretické postupy popisující difúzní rtg rozptyl na nanostrukturách a ukážeme řadu experimentálních příkladů.