Vf magnetronové naprašování nylonu ve směsi N2/H2: Charakterizace procesu pomocí hmotové spektroskopie.

Abstrakt

Vf magnetronové naprašování nylonu ve směsi N2/H2 monitorované hmotovou spektroskopií. Hustota a energie fragmentů přítomných ve výboji je korelována s vnějšími parametry.

Klíčová slova

• magnetron
• sputtering
• nylon
• N2/H2
• discharge
• mixtures
• Process
• characterisation
• means
• spectroscopy