Magnetronově naprášené tenké vrstvy TiO2 - krystalizace a teplotní závislost mikrostruktury a fázového složení
2008
Abstrakt
Teplotní závislost mikrostruktury a fázového složení dvou sad nanokrystalických tenkých vrstev TiO2 magnetronově nanasených na skelné a křemíkové substráty byly studovány pomocí rtg difrakce. Práškové difraktogramy byly měřeny v gemoterii paralelního svazku a vyhodnoeny metodou Total pattern fitting.
Po žíhání nad 200 C amorfní vrstvy krystalizovaly, nanokrystalické vrstvy anatas rutil částečně krystalizovaly, zatímco nanokrystalické vrstvy anatasu zůstaly prakticky nezměněny. S rostoucí teplotou nad 400 C bylo možné pozorovat podstatný růst krystalitů a nad 700 C i transformaci anatasu na rutil.