In-situ rtg difrakční studium tloušťkové závislosti krystalizace amorfních vrstev TiO2

Abstrakt

In-situ rtg difrakční studium tloušťkové závislosti krystalizace amorfních vrstev TiO2

Klíčová slova

• In-situ
• astudy
• thickness
• dependence
• amorphous
• nanocrystalline
• magnetron
• deposited
• films