Abstrakt
Rozptyl světla na periodickém povrchu představuje důležitý problém s mnoha fyzikálními a inženýrskými aplikacemi. Metoda RCWA předpokládá specifickou geometrii povrchu která dovoluje oddělení prostorových proměnných.
S použitím Fourierova rozkladu je možné řešení vzniklého systému obyčejných diferenciálních rovnic pro Fourierovy amplitudy psát po zkrácení ve formě maticových funkcí, což vede k elegantní formulaci lineárního algebraického problému pro konstanty integrace. V daném článku popisujeme odvození RCWA metody, formulujeme otevřené otázky a diskutujeme perspektivy efektivního řešení vzniklých vysoce strukturovaných lineárních algebraických problémů.
Detailní porozumění RCWA metodě pro dvoudimenzionální případ je nezbytné pro další rozvoj metody pro použití v praktických aplikacích.