Publikace na Matematicko-fyzikální fakulta |
2009
Abstrakt
Vf magnetronové naprašování nylonu v argonu, dusíku a jejích směsích bylo diagnostikováno hmotovým spektrometrem a optickou emisní spektroskopií. Byly detekovány různé druhy fragmentů obsahující uhlík a jejich hustota a byla nalezena korelace s depoziční rychlostí a chemickým složenímvrstev.