Komplexní in-situ rtg difrakční studium magnetronově naprašovaných tenkých vrstev TiO2

Abstrakt

Komplexní in-situ rtg difrakční studium magnetronově naprašovaných tenkých vrstev TiO2

Klíčová slova

• Complex
• in-situ
• study
• crystallization
• magnetron
• deposited
• films