Diagnostika stejnosměrného výboje s dutou katodou během depozice TiOx vrstev

Abstrakt

Diagnostika stejnosměrného výboje s dutou katodou během depozice TiOx vrstev pomocí Langmuirovy sondy

Klíčová slova

• Langmuir
• Probe
• Diagnostics
• Hollow
• Cathode
• Discharge
• During
• Deposition