Komplexní rtg studia krystalizace amorfních a nanokrystalických magnetronově naprašovaných vrstev TiO2 s různou tloušťkou

Abstrakt

Komplexní rtg studia krystalizace amorfních a nanokrystalických magnetronově naprašovaných vrstev TiO2 s různou tloušťkou

Klíčová slova

• Complex
• studies
• crystallization
• amorphous
• nanocrystalline
• magnetron-deposited
• films
• different
• thickness