Tvorba vrstev TiOx pomocí naprašování v pulzním magnetronu s vysokým výkonem

Abstrakt

Tvorba vrstev TiOx pomocí naprašování v pulzním magnetronu s vysokým výkonem

Klíčová slova

• Formation
• films
• produced
• high-power
• pulsed
• magnetron
• sputtering
• 055202