Depozice tenkých vrstev Ba(x)Sr(1-x)TiO3 pomocí plazmového tryskového systému s dvěma dutými katodami | Charles Explorer

Depozice tenkých vrstev Ba(x)Sr(1-x)TiO3 pomocí plazmového tryskového systému s dvěma dutými katodami

Publikace na Matematicko-fyzikální fakulta |

2008

Abstrakt

Depozice tenkých vrstev Ba(x)Sr(1-x)TiO3 pomocí plazmového tryskového systému s dvěma dutými katodami

Klíčová slova

Deposition Films Double Hollow Cathode Plasma System

Osoby