Diagnostika plazmového tryskového systému s dutou katodou pro depozici tenkých vrstev TiOx pomocí elektrické sondy

Abstrakt

Diagnostika plazmového tryskového systému s dutou katodou pro depozici tenkých vrstev TiOx pomocí elektrické sondy

Klíčová slova

• Electrical
• Probe
• Diagnostics
• Hollow
• Cathode
• Plasma
• System
• Deposition
• Films