Krystalizace magnetronově naprašovaných vrstev TiO2 a teplotní závislost jejich mikrostruktury a fázového složení

Abstrakt

Krystalizace magnetronově naprašovaných vrstev TiO2 a teplotní závislost jejich mikrostruktury a fázového složení

Klíčová slova

• Magnetron
• deposited
• films
• crystallization
• temperature
• dependence
• microstructure
• phase
• composition