Studium krystalizace magnetronově naprašovaných tenkých vrstev TiO2 pomocí rozptylu rtg záření

Abstrakt

Studium krystalizace magnetronově naprašovaných tenkých vrstev TiO2 pomocí rozptylu rtg záření

Klíčová slova

• Study
• crystallization
• magnetron
• sputtered
• films
• X-ray
• scattering