Strukturní studia krystalizace a růstu magnetronově naprašovaných tenkých vrstev TiO2 pomocí rtg difrakce a reflektivity

Abstrakt

Strukturní studia krystalizace a růstu magnetronově naprašovaných tenkých vrstev TiO2 pomocí rtg difrakce a reflektivity

Klíčová slova

• Structural
• studies
• crystallization
• growth
• magnetron
• deposited
• films
• X-ray
• diffraction
• reflectivity